电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数,为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况,需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种,其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此,目前检测半导体材料电阻率,尤其对于薄膜样品来说,四探针是较常用的方法。 普赛斯仪表S型源表能否直接进行四探针测试?对线缆要求? ①可以的,使用其四线测量模式; ②四探针测试时一般是恒流测电压,而所加的电流一般在mA级,所以对线缆基本没有要求 四探针测试原理 四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时,测试中间两根探针的电压差。最后,电阻率通过样品的几何参数,输出电流源和测到的电压值来计算得出。四探针法测量半导体电阻率测试方案,使用普赛斯仪表*的高精度S型源表,既可以在输出电流时测试电压,也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控,测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔文模式,因此适用于四探针测试,可以简化测试连接,得到准确的测试结果。 四探针测试高精度源表找普赛斯仪表,普赛斯数字源表国产*,对标美国2400,B2901;可实现“源”的输出和“表”的测量同步进行,提高测试效率;支持四象限工作,测量范围广,电压高至300V,电流低至100pA;支持USB存储,一键导出数据报告;5寸触摸显示屏图形化操作,内置强大的功能软件,加速用户完成测试;支持多种通讯方式,RS-232、GPIB及以太网;详情请联系普赛斯仪表销售专员为您解答一八一四零六六三四七六