国产源表搭建四探针法测量半导体电阻率实验

电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种，其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此，目前检测半导体材料电阻率，尤其对于薄膜样品来说，四探针是较常用的方法。

四探针测试原理

四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差。最后，电阻率通过样品的几何参数，输出电流源和测到的电压值来计算得出。

普赛斯仪表S型源表能四线法测电阻吗？对线缆要求？
①可以的，使用其四线测量模式；
②四探针测试时一般是恒流测电压，而所加的电流一般在mA级，所以对线缆基本没有要求

需要测试的参数：
表面电阻率

需要仪器列表：
S型国产源表

探针台或夹具

可编程温箱

软件

高校相关Z业
材料Z业

化学Z业

武汉普赛斯仪表*的高精度源表（SMU），可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率 高达微伏级。支持四线开尔文模式，适用于四探针测试，可以简化测试连接，得到准确的测试结果。

上位机软件指导电阻率测试步骤，测试方法清晰明确，即使不熟练的工程师也能*掌握测试方法。 内置电阻率计算公式，测试结束后直接从电脑端读取计算结果，方便灵活的做后续处理分析系统主要由源测量单元、探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或者后面板三同轴接口连接到源表上。

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